종 류

진 공 내 열  F I B E R

검 출 방 식

투 과 형

검 출 거 리

200mm  FA514  사 용 시  1200mm

최 초 검 출 체 경

약 Ø1의  동 선

F I B E R 경

Ø 1.2

F I B E R 길 이

500mm, 1000mm

재 질

유 리 (G l a s s)    S U S 스 파 이 어 럴

L e a k  량

1 X 10‾¹º Pa㎥/s(He)

사 용 주 위 온 도

-30 ~ 350℃

질 량

50g 이 하

적 용 A M P

F70R/AR

F71R/F11R

F10R

F1RM

검출거리(mm)

380

220

200

220